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Investigadores presentan un método de caracterización térmica tridimensional de circuitos integrados avanzados. El flujo extrae propiedades térmicas por capa y construye una base de datos localizada para estudiar cómo circula el calor por la pila.

El método se demuestra en una muestra con vías de silicio de 2,2 micrómetros y unión híbrida cara a cara con un paso aproximado de 2 micrómetros. El preprint describe investigación de medición para gestión térmica, no un sistema de refrigeración listo para producción.